Гридчин А.В. Микродатчики и микросистемы

Микродатчики и микросистемы | Гридчин А.В.
Год: 2023
Издательство: Инфра-Инженерия
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 184
Размер: 16.8 Мб

Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета Ansys.

Скачать : Гридчин А.В. Микродатчики и микросистемы