Популярное
Микроконтроллеры
Практическое программирование микроконтроллеров Atmel AVR на языке ассемблера. 3-е изд.
Электроника, электрика
Книги серии "Ремонт"
Электроника, электрика
500 схем для радиолюбителей. Современная схемотехника в освещении (+CD)
Аудиотехника
Любительские усилители низкой частоты
Справочники
Взаимозаменяемые интегральные схемы
Учебники
Основы электроники (2016)
Прием-передача
Детали контуров радиоаппаратуры. Расчет и конструкция
Микроконтроллеры
Самоучитель по микропроцессорной технике. 2-е изд.
Микроконтроллеры
Mastering STM32 - Second Edition
Учебники
Электротехника. Фильтры высоких и низких частот
Журнал Радио
Радио №4 2024
Учебники
Схемотехника мобильных радиостанций. 2-е изд.
Учебники
Электроника - практический курс
Учебники
Общая теория связи
Учебники
Методы и средства измерений в телекоммуникационных системах (2019)

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем | Васильев В.Ю.
Год: 2022
Издательство: Новосибирск: Изд-во НГТУ
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 131
Размер: 14.8 Мб

Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем.

Скачать : Васильев В.Ю. Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Upgrade to Premium

~ Turbobit

Похожие новости
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.