Популярное
Журнал Радио
Электроника, электрика

Технологическое оборудование для микроэлектроники

Камлюк Д.В. Технологическое оборудование для микроэлектроники

Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники
Автор: Д.В. Камлюк
Год: 2014
Издательство: РИПО
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 391
Размер: 17.9 Мб

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.

Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования

Краткое содержание
  • Технологический процесс изготовления интегральных микросхем
  • Структура технологического оборудования
  • Оборудование для создания и контроля чистых сред
  • Виды нагрева изделий и оборудование для нагрева
  • Вакуумные системы
  • Оборудование для изготовления пластин
  • Оборудование для химической обработки
  • Термическое оборудование
  • Оборудование ионно-вакуумной обработки кремниевых пластин
  • Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
  • Оборудование для совмещения и экспонирования
  • Оборудование для фотолитографических процессов. Оборудование для обработки пластин, нанесения и проявления фоторезиста
  • Оборудование для механической обработки пластин с готовыми структурами
  • Оборудование для присоединения кристаллов
  • Оборудование для присоединения проволочных выводов к контактным площадкам кристалла и выводам корпуса
  • Оборудование для герметизации интегральных микросхем
  • Контрольно-измерительное оборудование ЭМ-6020, ЭМ-6020-1
  • Оборудование для испытаний
  • Оборудование для заключительных операций
  • Эксплуатация, поддержание в работоспособном состоянии и ремонт специального технологического оборудования

Скачать : Камлюк Д.В. Технологическое оборудование для микроэлектроники

Upgrade to Premium


Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.