Технологическое оборудование для микроэлектроники

Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники
Автор: Д.В. Камлюк
Год: 2014
Издательство: РИПО
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 391
Размер: 17.9 Мб

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.

Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования

Краткое содержание

Технологический процесс изготовления интегральных микросхем
Структура технологического оборудования
Оборудование для создания и контроля чистых сред
Виды нагрева изделий и оборудование для нагрева
Вакуумные системы
Оборудование для изготовления пластин
Оборудование для химической обработки
Термическое оборудование
Оборудование ионно-вакуумной обработки кремниевых пластин
Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
Оборудование для совмещения и экспонирования
Оборудование для фотолитографических процессов. Оборудование для обработки пластин, нанесения и проявления фоторезиста
Оборудование для механической обработки пластин с готовыми структурами
Оборудование для присоединения кристаллов
Оборудование для присоединения проволочных выводов к контактным площадкам кристалла и выводам корпуса
Оборудование для герметизации интегральных микросхем
Контрольно-измерительное оборудование ЭМ-6020, ЭМ-6020-1
Оборудование для испытаний
Оборудование для заключительных операций
Эксплуатация, поддержание в работоспособном состоянии и ремонт специального технологического оборудования