Технология и конструирование интегральных микросхем

Название: Технология и конструирование интегральных микросхем
Авторы: Березин А.С., Мочалкина О.Р.
Год: 1983
Издательство: Радио и связь
Язык: русский
Формат: pdf, djvu
Страниц: 232
Размер: 12.6 Мб

Последовательно рассмотрены вопросы технологии кремниевых полупроводниковых, пленочных и гибридных интегральных микросхем различной степени интеграции, методы проектирования их элементной базы. Описаны типовые технологические процессы производства. Изложены принципы конструирования этих микросхем. Указаны конструктивно-технологические особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем, а также микросхем на арсениде галлия. Особое внимание уделено задачам и методам машинного проектирования микросхем.

Для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов.

Краткое содержание

Глава 1. Основы планарной технологии
Глава 2. Обработка кремниевых подложек
Глава 3. Легирование кремния
Глава 4. Эпитаксиальное наращивание слоев кремния
Глава 5. Получение тонких пленок
Глава 6. Фотолитография
Глава 7. Технологический процесс изготовления полупроводниковых интегральных микросхем
Глава 8. Технологические процессы изготовления тонкопленочных и толстопленочных гибридных интегральных микросхем
Глава 8. Особенности технологии больших и сверхбольших интегральных микросхем
Глава 10. Предмет и исходные предпосылки конструирования интегральных микросхем
Глава 11. Электрофизические параметры структуры интегральных микросхем
Глава 12. Проектирование биполярных транзисторов и диодов интегральных полупроводниковых микросхем
Глава 13. Проектирование пассивных элементов биполярных интегральных полупроводниковых микросхем
Глава 14. Проектирование элементов МДП-интегральных полупроводниковых микросхем
Глава 15. Конструирование полупроводниковых интегральных микросхем
Глава 16. Конструирование гибридных интегральных микросхем

Скачать : Березин А.С., Мочалкина О.Р. Технология и конструирование интегральных микросхем