Родионов Ю.А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Название: Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Автор: Родионов Ю. А.
Год: 2019
Издательство: Инфра-Инженерия
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 352
Размер: 50.2 Мб

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.

Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Скачать : Родионов Ю.А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике