Процессы микро- и нанотехнологий

Название: Процессы микро- и нанотехнологий
Авторы: С.А. Пивоваренок, Д.В. Ситанов
Год: 2016
Издательство: Ивановский ГХТУ
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 254
Размер: 21,7 Мб

Учебное пособие содержит описание базовых процессов планарной технологии изготовления интегральных микросхем в микро и наноэлектронике. Рассматриваются процессы очистки материалов, получение эпитаксиальных пленок на поверхности подложек, формирование защитных и пассивирующих покрытий, а также фотолитография, диффузия и изготовление печатных плат. Каждый раздел пособия содержит перечень вопросов для самоподготовки. С целью получения практических навыков и закрепления теоретического материала в пособие включены шесть базовых лабораторных работ по основным технологическим процессам.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Химическая технология» при изучении дисциплины «Процессы микро- и нанотехнологий».

Скачать Пивоваренок С. А., Ситанов Д. В. Процессы микро- и нанотехнологий