Родионов Ю.А. Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства

Название: Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства
Автор: Родионов Ю.А.
Год: 2019
Издательство: БГУИР
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 300
Размер: 10,1 Мб

Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике. Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков.

Все рассмотренные датчики описываются по единому принципу: детальное рассмотрение физического эффекта, лежащего в основе работы; выбор и практическая реализация конструктивно-технологических решений.

Скачать Родионов Ю.А. Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства