Микросистемные датчики физических величин

Изложены современные принципы построения, методы расчета и проектирования микросистемных датчиков физических величин и измерительных систем на их основе. Приведены примеры разработок новых изделий.

Краткое содержание

Часть 1

Глава 1. Конструкторско-технологические вопросы разработки микросистемных датчиков
Глава 2. Элементы и узлы микросистемных датчиков
Глава 3. Параметры и характеристики микросистемных датчиков
Глава 4. Микросистемные обратные преобразователи
Глава 5. Интегральные термопреобразователи
Глава 6. Передаточные функции микросистемных датчиков
Глава 7. Схемотехника микросистемных датчиков
Глава 8. Интегральные акселерометры
Глава 9. Микрогироскопы

Часть 2

Глава 10. Микросистемные пьезорезонансные датчики
Глава 11. Микромагнитометры
Глава 12. Интегральные датчики давлений и влажности
Глава 13. Интегральные расходомеры жидкостей и газов
Глава 14. Микроактюаторы. Тепловые микроактюаторы
Глава 15. Оптимизация характеристик интегральных датчиков
Глава 16. Испытания и тарировка интегральных датчиков
Глава 17. Надежность элементов и компонентов микроэлектромеханических систем

Название: Микросистемные датчики физических величин
Авторы: Вавилов В.Д. , Тимошенков С.П. , Тимошенков А.С.
Год: 2018
Издательство: Техносфера
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 550
Размер: 10,1 Мб

Скачать Вавилов В.Д. и др. Микросистемные датчики физических величин