Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники

Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя.

Для студентов вузов приборостроительных специальностей.

Краткое содержание

Управление в производстве изделий микроэлектроники
Средства автоматизации технологического оборудования
Структура и состав микропроцессорных систем управления
Алгоритмы управления качеством технологических процессов
Программное обеспечение микропроцессорных систем
Программирование задач управления оборудованием
Примеры использования микропроцессоров в технологическом оборудовании

Название: Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники
Автор: А.А. Сазонов, Р.В. Корнилов, Н.П. Кохан и др.
Год: 1988
Издательство: М:, Радио и связь
Язык: русский
Формат: djvu, pdf
Страниц: 264
Размер: 10.1 Мб

Скачать А.А. Сазонов и др. Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники