Сенсорная электроника, датчики

Сенсорная электроника, датчики. Твердотельные сенсорные структуры на кремнии | Ховив А.М. (ред.)
Год: 2022
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 203
Размер: 67.2 Мб

Курс посвящен изложению анализу фундаментальных и прикладных свойств гетероструктур с сенсорными свойствами, изготовленных из современных материалов с различными по характеру и масштабу пространственно-энергетическими неоднородностями, нанокристаллических, аморфных, пористых, (микро)гетерогенных и гетерофазных, имеющих сложные профили распределения локализованных состояний на гетерограницах.

Основное внимание уделено описанию низко- и высокочастотных вольт-фарадных и динамических вольт-амперных характеристик МДП- и МОП-структур с «активными» в отношении адсорбции/десорбции диэлектриками (SiO2, полиамид) и оксидами металлов (WO3, SnO2, PdO, NiO), которые можно эффективно использовать для диагностики сенсорных свойств.
Содержание соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования.

Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по естественнонаучным направлениям.

Краткое содержание

• Полупроводниковые структуры для сенсоров и методы их исследования
  
• Кремниевые МОП-структуры с поликристаллическим металлооксидными полупроводниками
  
• Кремниевые гетероструктуры с аморфными пленками триоксидо вольфрама
  
• Поистый кремний и гетероструктуры por-Si/c-Si
  
• МПД-структуры с высокомолекулярными диэлектриками в условиях сорбции паров воды
  

Скачать Ховив А.М. Сенсорная электроника, датчики. Твердотельные сенсорные структуры на кремнии