Электронная техника. Полупроводниковые приборы №1 2026

Электронная техника. Полупроводниковые приборы №1 2026
Издательство: АО «НПП «Пульсар»
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 62
Размер: 10.1 Мб

В номере:

Оценка интерфейсных активных состояний структур Al₂O₃ / AlGaN/GaN.
Контроль качества многослойных зеркал для фотолитографии с использованием синхронного излучения.
Параметризованная многомерная модель процесса формирования металлизации истока силового МОП-транзистора с вертикальным каналом.
Анализ результатов технологических испытаний первых отечественных кластерных комплексов плазмохимического травления и осаждения на пластинах диаметром 300 мм уровня технологии 65 нм.

На страницах журнала публикуются материалы по разработке и производству полупроводниковых СВЧ приборов, интегральных схем, приборов силовой и фотоэлектроники, твердотельных модулей РЭА, физическому и технологическому моделированию полупроводниковых приборов, технологии создания, методам измерения и испытаний, экономике и организации производства изделий твердотельной электроники.

Скачать Электронная техника. Полупроводниковые приборы №1 2026