Нанотехнологии в микроэлектронике

Нанотехнологии в микроэлектронике | О.А. Агеев, Б.Г. Коноплёв (ред.)
Год: 2019
Издательство: Наука
Формат: pdf
Страниц: 511
Размер: 25.7 Мб

В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно телекоммуникационных систем.

Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.

Скачать : О.А. Агеев, Б.Г. Коноплёв (ред.) Нанотехнологии в микроэлектронике